Systeemintegrator VDL ETG sleept contract binnen bij Zeiss SMT.

0

VDL ETG heeft een omvangrijk contract in de wacht gesleept. Voor Zeiss gaat VDL ETG frames bouwen die de nauwkeurige ophanging en positionering waarborgen van de spiegels van deze Zuid-Duitse hightech-speler. Deze spiegels vormen en richten de lichtbundel in de volgende generatie EUV-machines van ASML. De frames zullen worden gebouwd bij VDL ETG Almelo en VDL ETG Zwitserland.

Een miljoenen investering is nodig om vooral VDL ETG Almelo gereed te maken voor de opstart van de productie. Een nieuwe productiehal moet worden gebouwd, en een bestaande productiehal wordt vrijgemaakt en vervolgens omgebouwd voor cleanroom-montage. Het dak moet worden verhoogd om bijvoorbeeld een meetmachine van negen meter hoog, zeven meter lang en ruim vier meter breed onder te kunnen brengen. Omdat VDL ETG Zwitserland op dit moment over grotere freesmachines beschikt dan in Almelo zullen de eerste frames in Trübbach worden geproduceerd.

Voor één van de frames zijn maar liefst twee aluminium blokken nodig van bijna 20 ton per stuk. Dat komt ongeveer overeen met het gewicht van bijna 1,5 bus. Nadat zo’n aluminium blok maar liefst ruim 1.300 uur is bewerkt, is daarvan nog ongeveer 3 ton over. VDL ETG zal de frames eveneens voorzien van onder meer leidingen, elektronica, mechanische afdekkingen en koelplaten.

De frames zijn bestemd voor de nieuwste generatie EUV-machines. Die worden veel groter dan de huidige generatie lithografiemachines die werken met extreem ultraviolet-licht. De frames kennen een afmeting van enkele meters hoog, breed én diep.

Willem van der Leegte

Willem van der Leegte heeft het contract onlangs getekend tijdens een bezoek aan Zeiss. “Wij zijn enorm trots dat we met deze order tevens zijn gekroond tot strategisch partner van Zeiss, en dus toegevoegde waarde mogen gaan leveren aan de keten van deze absolute topspeler in de optische industrie. Deze order zet VDL verder op de hightech-kaart.”

“Dankzij de uitstekende samenwerking in het verleden en de ervaring van VDL ETG met systeemintegratie beschouwen we deze leverancier als een sterke partner voor de bouw van deze modules”, stelt vice-president Dr. Stefan Häberle van Zeiss SMT. “Daarnaast profiteren wij ook van de jarenlange nauwe samenwerking tussen VDL ETG en onze klant ASML.”

De eerste levering van het eerste van drie frames staat gepland voor eind 2020. De verwachting is dat de productie een doorlooptijd zal kennen van vijf tot tien jaar.

Share.

Reageer

CAPTCHA Image

Reload Image

Deze website gebruikt Akismet om spam te verminderen. Bekijk hoe je reactie-gegevens worden verwerkt.